Ученые Томского политеха создали чип для проверки разрешения рентгеновских микротомографов

Специалисты Томского политехнического университета представили эталонный чип для контроля качества рентгеновских микротомографов. Устройство предназначено для проверки разрешающей способности оборудования и калибровки алгоритмов сканирования. Чип изготовлен из монокристаллического кремния, что обеспечивает стабильность в широком температурном диапазоне. Его размеры составляют 2,98 × 2,98 мм при толщине 0,6 мм.

На поверхность чипа нанесены эталонные структуры в виде полос и точек размером от 10 до 1 микрона, сформированные методом травления на глубину до 20 мкм. Точность этих структур подтверждена с помощью электронного микроскопа с погрешностью не более 100 нм. «В России до настоящего момента не было эталонных средств для подтверждения разрешающей способности микротомографов на уровне 1 микрон. Наш чип решает эту задачу, позволяя верифицировать детализацию изображений», — отметил проректор по науке ТПУ Алексей Гоголев.

Для проведения измерений чип размещается в томографе как стандартный образец. После сканирования полученное изображение сравнивается с эталонными значениями. Устройство уже использовано для аттестации микротомографа ТПУ с разрешением 5 мкм, который включен в Государственный реестр средств измерений. Разработка также подходит для тестирования новых алгоритмов реконструкции изображений и протоколов сканирования.

Над созданием чипа работали ученые Научно-образовательного центра перспективных исследований и Центра метрологии Томского политеха.